油(you)擴散(san)泵抽(chou)氣系(xi)統的(de)*缺點(dian)是油(you)蒸汽(qi)的污(wu)染。
系(xi)統中(zhong)污染(ran)物的(de)主要(yao)來源(yuan)如下(xia)：
(1)擴散(san)泵油(you)蒸汽(qi)的返(fan)流。這(zhe)是最(zui)重大(da)的污(wu)染源(yuan)。
(2)系統(tong)中的(de)零部(bu)件，在(zai)裝配(pei)時用(yong)有油(you)的手(shou)拿。用(yong)有油(you)污的(de)手套(tao)拿，這(zhe)樣粘(zhan)染的(de)有機(ji)分子(zi)可以(yi)造成(cheng)系統(tong)内的(de)污染(ran)。
(3)前級(ji)油封(feng)機械(xie)泵油(you)的返(fan)流。這(zhe)個問(wen)題也(ye)很嚴(yan)重，當(dang)入口(kou)壓力(li)較高(gao)時，在(zai)達到(dao)過渡(du)區(1～10-1Pa)壓(ya)力時(shi)，機械(xie)泵的(de)油蒸(zheng)汽即(ji)可直(zhi)接進(jin)入擴(kuo)散泵(beng)内，對(dui)系統(tong)直接(jie)進行(hang)污染(ran)。很多(duo)真空(kong)工藝(yi)過程(cheng)的污(wu)染來(lai)自機(ji)械泵(beng)返油(you)。當停(ting)機械(xie)泵時(shi)如不(bu)及時(shi)向泵(beng)内放(fang)大氣(qi)，機械(xie)泵油(you)可直(zhi)接返(fan)到擴(kuo)散泵(beng)油鍋(guo)内。當(dang)擴散(san)泵起(qi)動時(shi)對系(xi)統的(de)污染(ran)更為(wei)嚴重(zhong)。
(4)抽氣(qi)系統(tong)中密(mi)封材(cai)料的(de)放氣(qi)造成(cheng)的污(wu)染。特(te)别是(shi)人造(zao)橡膠(jiao)密封(feng)圈，密(mi)封油(you)脂，潤(run)滑油(you)等，也(ye)同樣(yang)造成(cheng)嚴重(zhong)的污(wu)染。
(5)當(dang)停泵(beng)後放(fang)大氣(qi)時，使(shi)真空(kong)零部(bu)件在(zai)空氣(qi)中粘(zhan)污上(shang)水蒸(zheng)汽，油(you)煙等(deng)，造成(cheng)對真(zhen)空系(xi)統的(de)污染(ran)。
消除(chu)系統(tong)油蒸(zheng)氣返(fan)流的(de)具體(ti)措施(shi)為：
(1)加(jia)大擴(kuo)散泵(beng)的啟(qi)動功(gong)率來(lai)縮短(duan)機械(xie)泵與(yu)擴散(san)泵切(qie)換時(shi)的壓(ya)力過(guo)渡區(qu)。
(2)通過(guo)改變(bian)系統(tong)操作(zuo)工藝(yi)和用(yong)閥門(men)來避(bi)開返(fan)流危(wei)險區(qu)（切換(huan)過渡(du)區）。例(li)如，可(ke)使一(yi)個按(an)照預(yu)定速(su)度開(kai)啟的(de)高真(zhen)空閥(fa)，逐漸(jian)地開(kai)啟它(ta)，保證(zheng)進入(ru)擴散(san)泵的(de)氣體(ti)流量(liang)低于(yu)它的(de)*排氣(qi)量，并(bing)且又(you)使機(ji)械泵(beng)抽速(su)保證(zheng)擴散(san)泵前(qian)級壓(ya)力，以(yi)使擴(kuo)散泵(beng)能樹(shu)立工(gong)作。這(zhe)樣就(jiu)能避(bi)開過(guo)渡區(qu)的出(chu)現。
(3)改(gai)善操(cao)作工(gong)藝，将(jiang)擴散(san)泵的(de)加熱(re)功率(lü)調至(zhi)*功率(lü)，避免(mian)出現(xian)泵油(you)爆沸(fei)現象(xiang)；一般(ban)擴散(san)泵在(zai)加熱(re)開始(shi)和關(guan)閉過(guo)程中(zhong)，返流(liu)将出(chu)現峰(feng)值，所(suo)以可(ke)用泵(beng)口處(chu)的高(gao)真空(kong)閥門(men)來控(kong)制避(bi)免返(fan)流。
(4)在(zai)擴散(san)泵入(ru)口處(chu)加裝(zhuang)液氫(qing)冷阱(jing)或吸(xi)附阱(jing)來捕(bu)集返(fan)流油(you)蒸氣(qi)。
(5)選用(yong)*的擴(kuo)散泵(beng)工作(zuo)液。