油擴(kuò)散泵抽氣(qì)系統的*缺(que)點是油蒸(zhēng)汽的污染(ran)。
系統中污(wu)染物的主(zhǔ)要來源如(ru)下：
(1)擴散泵(beng)油蒸汽的(de)返流。這是(shì)最重大的(de)污染源。
(2)系(xì)統中的零(líng)部件，在裝(zhuang)配時用有(you)油的手拿(ná)。用有油污(wu)的手套拿(ná)，這樣粘染(rǎn)的有機分(fèn)子可以造(zào)成系統内(nèi)的污染。
(3)前(qián)級油封機(ji)械泵油的(de)返流。這個(gè)問題也很(hěn)嚴重，當入(ru)口壓力較(jiao)高時，在達(dá)到過渡區(qu)(1～10-1Pa)壓力時，機(ji)械泵的油(yóu)蒸汽即可(kě)直接進入(ru)擴散泵内(nèi)，對系統直(zhí)接進行污(wu)染。很多真(zhēn)空工藝過(guo)程的污染(ran)來自機械(xie)泵返油。當(dang)停機械泵(bèng)時如不及(ji)時向泵内(nèi)放大氣，機(jī)械泵油可(ke)直接返到(dào)擴散泵油(you)鍋内。當擴(kuò)散泵起動(dong)時對系統(tǒng)的污染更(gèng)為嚴重。
(4)抽(chou)氣系統中(zhōng)密封材料(liao)的放氣造(zào)成的污染(ran)。特别是人(rén)造橡膠密(mì)封圈，密封(fēng)油脂，潤滑(hua)油等，也同(tóng)樣造成嚴(yan)重的污染(rǎn)。
(5)當停泵後(hou)放大氣時(shí)，使真空零(líng)部件在空(kōng)氣中粘污(wu)上水蒸汽(qi)，油煙等，造(zao)成對真空(kong)系統的污(wu)染。
消除系(xì)統油蒸氣(qi)返流的具(ju)體措施為(wéi)：
(1)加大擴散(sàn)泵的啟動(dong)功率來縮(suō)短機械泵(bèng)與擴散泵(beng)切換時的(de)壓力過渡(du)區。
(2)通過改(gai)變系統操(cāo)作工藝和(hé)用閥門來(lái)避開返流(liú)危險區（切(qiē)換過渡區(qū)）。例如，可使(shi)一個按照(zhao)預定速度(du)開啟的高(gao)真空閥，逐(zhú)漸地開啟(qǐ)它，保證進(jìn)入擴散泵(beng)的氣體流(liú)量低于它(tā)的*排氣量(liang)，并且又使(shǐ)機械泵抽(chōu)速保證擴(kuò)散泵前級(ji)壓力，以使(shi)擴散泵能(neng)樹立工作(zuò)。這樣就能(néng)避開過渡(du)區的出現(xian)。
(3)改善操作(zuò)工藝，将擴(kuò)散泵的加(jia)熱功率調(diao)至*功率，避(bì)免出現泵(beng)油爆沸現(xian)象；一般擴(kuo)散泵在加(jia)熱開始和(hé)關閉過程(chéng)中，返流将(jiang)出現峰值(zhi)，所以可用(yòng)泵口處的(de)高真空閥(fa)門來控制(zhi)避免返流(liu)。
(4)在擴散泵(bèng)入口處加(jiā)裝液氫冷(leng)阱或吸附(fù)阱來捕集(ji)返流油蒸(zheng)氣。
(5)選用*的(de)擴散泵工(gōng)作液。